目前認為無論何種間質性肺病,由于刺激或損傷因素導致了肺臟非常早期的基礎病變為肺泡炎。炎性和免疫細胞可引起肺泡結構的紊亂和產生纖維化。肺泡源可能有自卸或經治療后好轉,或者痊愈。但組織纖維化卻無法逆轉,甚至繼續發展。無論在肺泡內,肺泡間隔或者是間質腔,組織纖維化都十分活躍。肺泡內極具纖維素或者是透明膜,以及間質腔內水腫和細胞的浸潤,逐漸隨成纖維細胞,大量的纖維而轉變為纖維組織,使原來的組織結構完全變形,并失去彈性。
病理部位的小支氣管易被纖維組織牽拉扭曲導致的管腔擴張或者狹窄。部分未被累及的呼吸性細支氣管出現代償性囊性擴張,或融合成大囊泡。其發展過程為刺激肺泡源,肺泡結構紊亂,蜂窩肺。以上病變可使肺的彌散功能過程減損,通氣血流比例失調,出現呼吸困難。